西南石油大学学报(自然科学版) ›› 2007, Vol. 29 ›› Issue (4): 145-148.DOI: 10.3863/j.issn.1000-2634.2007.04.37
周秀云1,2 周肇飞1 张涛1
ZHOU Xiu-yun1,2 ZHOU Zhao-fei1 ZHANG Tao1
摘要:
研究了一种可用于工业现场进行大尺寸零件精密测量的装置。该装置以有高稳定性和强抗干扰能力(室外时频率稳定性可达10-7)的双纵模热稳频He—Ne 激光器为光源,其拍频频率约为790MHz ,拍频波长λ约380mm,拍频波长为测量基准;以拍频波节点为对准标志, 最邻近节点到被测点的尾数间距x1,x2用组合于同一光路中的分系统激光干涉仪测量,分辨率为0.08μm的方法来进行大尺寸L的测量 。测试表明,此装置具有很好的环境适应性和同类仪器中最高的频差稳定度。整个测量系统可在0~20m 范围内工作,测量不确定度优于±30μm/ 10m 。对石油机械大尺寸零件测量的环境性和高精度性研究具有重要意义。
中图分类号: